半导体纯水制备前置超滤设备

半导体纯水制备前置超滤设备

高洁净型超滤成套系统,采用低析出 PES 中空纤维膜,配套抛光不锈钢洁净管路、精密保安过滤器、全自动在线清洗单元、冗余仪表监测。整机洁净设计,无二次析出污染;系统采用 N+1 冗余设计,可在线检修不中...

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产品介绍

高洁净型超滤成套系统,采用低析出 PES 中空纤维膜,配套抛光不锈钢洁净管路、精密保安过滤器、全自动在线清洗单元、冗余仪表监测。整机洁净设计,无二次析出污染;系统采用 N+1 冗余设计,可在线检修不中断产水。适用于 12 英寸晶圆厂、第三代半导体、封测基地超纯水制备前置过滤。可按产线纯水流量定制,提供洁净施工指导、水质调试、预防性运维方案。

工作原理

压力驱动膜分离,原水经前置精密过滤后进入 PES 中空纤维超滤组件,0.01μm 膜孔截留水体微细颗粒、胶体、细菌、微生物,允许水分子及可溶性离子透过膜丝形成洁净产水;截留杂质随浓水排出。系统设置低压运行模式,减少膜表面污染;采用微量药剂在线化学清洗,抑制生物膜滋生;压力、浊度在线监测,当跨膜压差升高,自动启动气水反洗,维持稳定洁净产水,保障半导体超纯水系统持续稳定进水。

技术参数

  • 处理水量:5~150m³/h 定制

  • 膜材质:PES 聚醚砜中空纤维膜(低析出)

  • 过滤精度:0.01μm

  • 运行压力:0.08~0.25MPa(低压型)

  • pH 范围:2~10

  • 产水浊度:≤0.05NTU

  • 微生物去除率≥99.99%

  • 管路:304/316L 洁净不锈钢

  • 控制:冗余 PLC,接入 BMS 系统

性能优势

PES 膜低溶出、低颗粒物释放,满足半导体洁净纯水要求;低压运行降低能耗,减少膜元件疲劳老化;N+1 冗余架构,支持在线检修,不停产;在线浊度、跨膜压差实时监控,异常提前预警;产水颗粒含量稳定,保护后续 RO、EDI 设备,延长超纯水系统膜与树脂寿命;系统自动化程度高,运维工作量小;洁净管路焊接工艺,无二次污染;适配半导体厂区 BMS 中控对接,保障芯片产线超纯水稳定供给。

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